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多晶硅制备工艺及发展趋势

  • 【获取途径】 超星期刊网
  • 【作者】王晓英,王宇光,谷新春,刘颖
  • 【作者单位】吉林工商学院食品工程分院;中国化学赛鼎宁波工程有限公司
  • 【年份】2013
  • 【卷号】第32卷
  • 【期号】 第6期
  • 【页码】1336-1340
  • 【ISSN】1000-6613
  • 【关键词】多晶硅 流化床法 冶金法 西门子法 
  • 【摘要】 简述了国内外多晶硅生产工艺的发展和现状,对比分析了各种多晶硅制备方法在产能、能耗及环境友好特性等方面的特点及其发展趋势。提出目前多晶硅制备技术主要有3个发展方向:①不断改进西门子工艺,包括尾气分离,四氯化硅氢化制备三氯氢硅,改进还原炉结构,加大炉体直径以提高产量、降低成本,三氯氢硅及氢气的纯化;②不断完善流态化技术方法,包括降低反应器内壁面上的硅沉积、减少无定形硅粉的形成、硅烷制备技术的改善;③不断完善冶金法工艺体系,包括提高产品纯度、减少杂质含量的波动性。
  • 【文献类型】 期刊
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